Повнотекстовий пошук
Пошуковий запит: (<.>A=Бутарєв К$<.>) |
Загальна кількість знайдених документів : 1
|
1. |
Бутарєв К. О. Перетворення в субмоношарових покриттях хрому та титану на поверхні Sі (001) [Електронний ресурс] / К. О. Бутарєв, І. П. Коваль, Ю. А. Лень, М. Г. Находкін // Журнал нано- та електронної фізики. - 2013. - Т. 5, № 1(2). - С. 01025-1-01025-4. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/jnef_2013_5_1(2)__12 Проведено дослідження перетворень в покриттях Ti та Cr (~ 1 - 3 нм) на поверхні Si (001) при кімнатній температурі до та після відпалу при 450o C. Виявлено, що після відпалу формуються острівцеві плівки. Встановлено, що стехіометрія одержаних острівців відповідає дисиліцидній структурі.
|
|
|